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第151章 EVD潮（第3页）

机会难道，他自然不会错过。

赵守正等人被周晓东显然也说动了，随后提出参观星环科技这边研发大楼正在进行研发当中的产品设备。

周晓东随后和张振宇陪同赵守正等人进行了参观。

在磁悬浮精密工件台研发试制的无尘车间里面，赵守正等人穿着静电防尘服见到这套已经组装好的超高精密工件台此时已经是替换掉了一台康尼精机光刻机之前的工件台，这套康尼精机生产的光刻机此时差不多已经是面目全非了。

周晓东此时向赵守正介绍道：“现在我们已经是将康尼精机的这套之前的气浮工件台给拿掉了，改成了我们自己研发的六维磁悬浮精密工件台。”

赵守正此时吃惊地看着这套非常复杂的工件台，心说周晓东这个年青人还真是敢想敢干。

“为了最大限度地降低振动造成的误差，工件台上的直线电机也是使用磁悬浮轴承，这方面的技术我们和紫光大学长期研发磁悬浮技术的实验室进行了技术合作，这个实验室的电机和磁悬浮轴承技术和工艺技术已经是授权给了牧野电子科技公司，通过实验测试，我们设计制造出来的直线电机和磁悬浮轴承是满足了工件台的设计要求。”

赵守正看了周晓东一眼，“你们牧野电子科技公司能够生产如此精密的轴承？”

“牧野电子科技公司在精密制造技术上是不错的，有着一批有着精密制造技术经验的人才，公司也采购了不少高精密的加工设备，设计制造高精密磁悬浮轴承是没有问题的。

更何况，总部李总很支持！”

周晓东开口说道。

赵守正也是搞技术出身的，通过周晓东等人的介绍这这才搞明白这套融合了浸没式装置的工件台技术原理，心中不得不惊叹于这个技术构想的绝妙之处。

这些年，在港岛，没人不知道李四季，那个血洗港岛、打劫鹰酱国期货市场、硬钢脚盆鸡超级家族，甚至与如今某些人提到李四季，都会瑟瑟发抖。

当天得知工件台的多项核心关键子系统都有周晓东精妙绝伦的设计构思，跟着过来的数位技术专家此时都是保持了沉默。

这套工件台设计构思极为精巧，制造组装极为精密，各个子系统里面技术含量是极高的，赵守正等人也是惊叹于周晓东带着国内的技术团队竟然不声不响就做出来了。

虽然按照星环科技公司这边技术研发团队的说法，这套装置还要进行很长一段时间的各种测试，主要是对这套装置的可靠性和使用寿命进行严苛的测试以及试用，中间还要持续地进行优化改进，但是赵守正等人已经是彻底折服了。

之前赵守正对于周晓东的话还是有所怀疑的，总觉得这个年青人是在吹牛，现在看到如此一套超高精密的装置摆在眼前，而且技术人员还特意演示了一番，看到工件台带着浸没装置里面的高纯水不断地进行精密的来回移动带起的波浪，这些高纯水并没有发生气泡的情况。

这套产生超纯水装置采用了全封闭设计，并且有气体回流过滤装置，保证了高纯水里面不会含有气体杂质产生气泡。

赵守正看到这一幕，心中惊叹于周晓东天才般的设计构想，除了这个，他还能说什么。

“周董，我们国家从七十年代发展半导体到现在一直是受到脚盆鸡和西方国家的封堵，能买到的都是国外已经落后淘汰的设备或者是二手设备，目前我们能够买到的设备是九十年代出来的八英寸晶圆设备，连这几年才出来的新型八英寸晶圆生产线都买不到，目前十二英寸的晶圆生产线又快出来了，这种晶圆生产线设备据我们所知，一片十二英寸晶圆虽然材料成本比八英寸晶圆贵一半，但是产量是八英寸晶圆的两倍，可以使产品颗粒成本下降百分之三十左右，这个难题你有什么破解之道？”