五八小说

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第84章（第2页）

接下来的几天，有关10纳米光刻机的消息持续发酵，国际社会一片哗然。

龙星集团的芯片工厂内，各项工作也在飞速进展。

转眼就到了等离子体刻蚀环节。

徐阳特意叮嘱技术人员，要详细记录每一步操作和数据。

“徐院士！

不好了！”

王甫满头大汗地跑过来，“刻蚀不均匀！”

徐阳立刻赶往刻蚀车间。

他只看了一眼失败的样品，就得到了答案：“压力过高了，等离子体中的离子能量过高，破坏了刻蚀图案。”

科研人员们面面相觑，不明白什么意思。

徐阳解释道：“因为此地的大气压强有些极端，导致压力控制系统没能按照预想的运行，使得反应腔内的压强高于设定值。”

他忽然想起什么，从口袋里掏出一个闪烁探测器，开始仔细检查机器内部。

“晶体管结构......损坏。”

徐阳语气凝重。

科研人员们顿时如临大敌。

徐阳环视众人，语气坚定：“大家不要慌！

给我点时间，修改一下参数。”

王甫额头汗珠更多了。

这么多参数，一天都检查不完吧？这可是涉及到几十个变量的复杂系统！

徐阳没废话，掏出闪烁探测器，对着周围环境一顿测量，记录下数值后，便一头扎进了工作室。

工作室里，徐阳调出控制系统的参数界面，上面密密麻麻的数字和符号，看得人头皮发麻。

他修改了等离子体刻蚀机的压力控制参数，并在软件上进行模拟。