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为了这一个光刻机的光源系统,陈阳以及龙科院的众人可没少花心思。
为了能够更好的滤除其他波长的光,先是研究了一种全新的材料,这种材料是一种掺杂各类化合物的玻璃,这种玻璃一来是可以吸收除了特定波长以外的光。
还能将当中的四散的135n的光汇聚在一起。
这种玻璃制备的透镜相比于euv多层膜反射镜对于制备和加工的工艺要求更低,而且不会因为等离子的体的冲击产生碎屑,从而导致汇聚光源出问题。
为了这一个材料,陈阳和龙科院的诸多科学家根据阳神ai研究的数百种可能的材料,从中进行不断筛选,随后为了这一个材料的制造,也没少耗费心血。
毕竟需要将那些化合物以特定的方式掺杂到当中,这跟制造半导体差不多,但是半导体的材料参数和基底跟这一个是完全不同的,因此只能不断进行调整,进行各种改进方式。
阳神ai可以提前帮助人们研究某一种究竟是不是可行的,但是实际还是要靠人操作的,此外像是这当中的意外是特别多的,很多时候连阳神ai都没办法解决。
这就要依靠陈阳他们了。
光源系统出来了,但是这并非意味着一帆风顺,还有着投影系统,载片台(晶圆台),对准系统,控制系统等一一系列问题需要解决。
像是世界上顶尖的超高精度机床对于加工误差要控制在0005以下,但是光刻机的加工比起这些超高精度机床还要高三个数量级,也就是还要高一千倍以上。
每一个都是难点,要想办法绕过去或者直接解决这些困难。
时间来到了第二年的六月。
“终于将这一个光刻机的原型机制造出来了,接下来就是验证和生产了。”
陈阳看着各种线路和机械结构裸露在外的光刻机。
在接下来的一个月当中,先是将这一个光刻机安装上外壳,安装到超净车间当中,进入到当中的每一个人都需要穿戴好专门的服装和相关的物品。
毕竟你皮肤上掉落的一个皮屑如果出现在晶圆当中,那么这一个晶圆就没办法用了。
像是一片最为便宜的晶圆都要好几千的,如果是十二寸的晶圆,价格高达数万块。
如果在超净车间以外的任何一个地方打开,空气中的灰尘就会直接附着到上面,这一块晶圆就废了。
从高纯度的多晶硅中生长出单晶硅锭,然后通过切割和抛光步骤制备出平整的晶圆。
再到经历氧化和钝化,光刻,蚀刻,掺杂,离子气相沉积,平坦化处理,金属化,经过各种工艺的,才终于能够将沙子制备成一块芯片。
流片一次也是需要上千万的资金,最为重要的便是掩模版不便宜,他是芯片加工不可或缺的一部分。
设计出的芯片想要加工必须要制备专门的掩模版,一块掩模版就高达数百万,如果芯片失败,这一块掩模版就直接废了。
陈阳的注视下,一块晶圆经过各种加工程序,最后得到了芯片,工作人员将芯片放到专门的仪器当中测试起来。
良品率百分之五十。
得知了良品率达到了百分之五十,陈阳整个人感觉都舒坦了不少。
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